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平行平晶檢定規(guī)程

  平行平晶檢定規(guī)程是確保平行平晶測量準(zhǔn)確性和可靠性的重要依據(jù)。以下是根據(jù)相關(guān)參考文章整理的平行平晶檢定規(guī)程的主要內(nèi)容:

  一、范圍

  本規(guī)程適用于平面平晶、平行平晶和長平晶(以下統(tǒng)稱平晶)的定型鑒定、首次檢定、后續(xù)檢定和使用中檢驗(yàn)。

  二、引用文件

  規(guī)程可能引用一系列相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)文件,如《平面平晶》(JB/T7401-1994)、《平行平晶》(JB/T7402-1994)、《通用計(jì)量術(shù)語及定義》(JJF1001)、《測量不確定度評定與表示》(JJF1059)等。使用本規(guī)程時(shí),應(yīng)注意使用上述引用文獻(xiàn)的現(xiàn)行有效版本。

  三、概述

  平行平晶是以光波干涉法測量平面的平面度、直線度、研合性以及平行度的計(jì)量器具。其外形可分為多個(gè)系列,每個(gè)系列中尺寸相鄰的四塊可組成一套。

  四、計(jì)量性能要求

  平行度:

  平行平晶兩工作面的平行度需滿足特定要求,具體數(shù)值可能因系列和等級不同而有所差異。

  工作面平面度:

  平面平晶工作面的平面度在不同直徑范圍內(nèi)有不同要求,如一等標(biāo)準(zhǔn)平晶在有效直徑內(nèi)的平面度不大于0.03μm,任意兩相互垂直截面方向的平面度之差不大于0.015μm等。

  平行平晶工作面的平面度不大于0.1μm(在有效直徑外允許塌邊),中間2/3直徑范圍內(nèi)的平面度不大于0.05μm。

  非工作面的平面度:

  平面平晶非工作面的平面度通常有一定限制,如不超過3.0μm。

  穩(wěn)定性:

  對于標(biāo)準(zhǔn)平晶和長平晶,兩次周期檢定的平面度之差需滿足特定要求,以確保其穩(wěn)定性。

  五、通用技術(shù)要求

  外觀及表面質(zhì)量:

  平晶表面應(yīng)無破損,玻璃材質(zhì)應(yīng)透明,無明顯的氣泡和條紋。

  使用中的平晶工作面允許有不影響準(zhǔn)確度和不損傷被測量具工作面的劃痕和破損。

  外形尺寸:

  平晶的外形尺寸需符合特定規(guī)定,如平面平晶、平行平晶和長平晶的外形尺寸各有不同的要求。

  長平晶十字刻線位置:

  長平晶的非工作面上有表示受檢點(diǎn)位置的十字刻線,其位置和間隔需滿足特定要求。

  兩端面夾角:

  平面平晶和長平晶的工作面與其對應(yīng)面的夾角需滿足特定要求,以確保測量的準(zhǔn)確性。

  工作面與圓柱母線的垂直度:

  平行平晶工作面與圓柱母線的垂直度需小于一定角度,如小于1°。

  六、計(jì)量器具控制

  計(jì)量器具控制包括首次檢定、后續(xù)檢定和使用中的檢查。檢定前需將平晶放置在特定溫度和濕度的檢定室內(nèi)進(jìn)行等溫處理,等溫時(shí)間需滿足特定要求。檢定過程中需使用特定設(shè)備和方法進(jìn)行檢測,并對檢定結(jié)果進(jìn)行處理和記錄。

  七、檢定周期

  平晶的檢定周期可能根據(jù)具體情況而定,需按照相關(guān)規(guī)定進(jìn)行定期檢定以確保其測量準(zhǔn)確性和可靠性。

  請注意,以上內(nèi)容僅為平行平晶檢定規(guī)程的概述,具體規(guī)程可能因版本和地區(qū)不同而有所差異。在實(shí)際應(yīng)用中,應(yīng)參考最新版本的檢定規(guī)程進(jìn)行操作。

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